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2025/12/09 07:54(火)
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高感度・高スループットの新型マスク検査装置を製品化レーザーテック＜６９２０＞（東証プライム）は１２月８日、次世代半導体向けＥＵＶマスクブランクスおよびサブストレートの欠陥検査・レビュー装置「ＭＡＧＩＣＳ」シリーズの新製品「Ｍ９７５０／Ｍ９７５１」を発表した。従来機に比べ高感度化と高スループット化を両立した最新鋭機として製品化した。同シリーズは業界標準機として出荷検査や受入検査、プロセス管理に活用されてきた。微細化が進むＥＵＶマスク分野の新構造に対応するため、検査光学系を刷新し、高速検査回路技術…
https://www.media-ir.com/news/?p=150605 この記事の続きを見る
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6920 レーザーテック(株)
市場 東証PRM
業種: 電気機器
半導体関連装置製造業者。半導体およびFPD関連をはじめとする産業分野で、光応用技術を用いた検査・計測のソリューションを提供している。半導体関連装置、FPD関連装置、レーザー顕微鏡の開発・製造・販売・サービス。
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