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先端半導体の精密微細加工を想定、高出力とビーム品質の両立を確認オキサイド＜６５２１＞（東証グロース）は８月１８日、先端半導体市場の精密微細加工を対象に開発する深紫外フェムト秒レーザについて、波長２５８ｎｍで主要性能データを取得したと発表した。平均出力４Ｗ超、最大パルスエネルギー２５μＪ超、パルス幅５００ｆｓ以下、ビーム品質Ｍ²＜１．３を実現し、１０００時間を超える連続運転も達成した。同社は単結晶、光部品、レーザ光源、光計測装置など光学関連製品を開発・製造・販売する。２０２６年４月に超短パルスレ…
https://www.media-ir.com/news/?p=179092 この記事の続きを見る
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6521 (株)オキサイド
市場 東証GRT
業種: 電気機器
高機能光学単結晶・素子とそのモジュールの開発と製造を行う企業。単結晶、光デバイス・結晶、レーザ、光計測機器、コンポーネント、レーザ微細加工機、PCI 測定装置などの製品を開発している。
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Y板 投稿数 2025年1月21日 10時48分
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