ＯＨラジカル生成、会計業務ＤＸ、インド展開、自己株消却、株式分割、ＣＸ－５受注好調・明電舎＜６５０８＞（東証プライム）：ピュアオゾンガスと水蒸気を用…
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2026/06/24 08:16(水)
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酸化ハフニウム膜で炭素・窒素不純物を大幅低減、絶縁特性向上に期待明電舎＜６５０８＞（東証プライム）は６月２３日、ピュアオゾンガスと水蒸気を用いた新たなＯＨラジカル生成技術を確立したと発表した。同技術は、半導体製造プロセスの一つである原子層堆積（ＡＬＤ）に適用し、材料品質の向上に寄与することが期待される。同技術は、オゾンの熱分解で生じる原子状酸素と水蒸気を反応させ、化学反応性の高いＯＨラジカルを効率的に生成する。複雑な装置を用いず、温度制御のみで反応性種を制御できる点が特長。ＡＬＤに適用してゲー…
https://www.media-ir.com/news/?p=174229 この記事の続きを見る
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6508 (株)明電舎
市場 東証PRM
業種: 電気機器
meidensha corp は、主に電力インフラ、社会システム、産業用 e-モビリティ、フィールド エンジニアリング、不動産事業に従事する日本を拠点とする企業です。 5 つの事業セグメントを通じて運営されています。
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